Zerodur Glas in Wafer Stepper

Wafer-Stepper gehören zu den wichtigsten Geräten in der modernen Halbleiterfertigung. Diese Instrumente im Wert von mehreren zehn Millionen Dollar können Schaltkreismuster im Nanobereich auf Siliziumwafer projizieren. Zu ihren wichtigsten Arbeitsabläufen gehören die Emission von Lichtquellen, die grafische Abbildung von Masken, die Fokussierung von Objektiven und die präzise Ausrichtung und schrittweise Bewegung des Wafertisches (X-Y-Tisch). Das scheinbar schwache physikalische Phänomen des thermischen Ausdehnungseffekts ist zu einer grundlegenden Herausforderung geworden, die die Genauigkeit der Lithografie einschränkt. Wenn sich die Ausrüstungskomponenten aufgrund von Temperaturschwankungen in ihrer Größe verändern, führt dies zu Ausrichtungsfehlern und zur Verschrottung von Wafern. Zerodur Glasein hochreines amorphes keramisches Glas, das von SCHOTT in Deutschland entwickelt wurde, hat sich aufgrund seiner thermischen Ausdehnungseigenschaften von nahezu Null zum Kernmaterial des Halbleiterlithografieprozesses entwickelt.