Optische Spiegel aus Siliziumkarbid

Geringes Gewicht, geringe Wärmeausdehnung, Beständigkeit gegen thermische Verformung usw.

Siliziumkarbid optische Spiegel können ihre Form und optische Präzision auch bei drastischen Temperaturschwankungen in optischen Anwendungen beibehalten. Die hohe Wärmeleitfähigkeit und der niedrige WAK ermöglichen es den SiC-Spiegeln außerdem, Wärme schnell zu absorbieren und die durch thermische Spannungen verursachte Spiegelverformung zu verringern.

Rauhigkeit Ra0.002um

Optische Spiegel aus Siliziumkarbid Eigenschaften

Komponente	Einheit	Anforderung
SiC	%	≥83
Si	%	≤16

Eigentum	Einheit	Wert
Dichte	g/cm³	≥3.02
Porosität	%	≤0.3
Biegefestigkeit	MPa	≥250 (20℃)
Elastischer Modul	GPa	≥300 (20℃)
Elastischer Modul	GPa	≥140 (25℃)
Wärmeausdehnungskoeffizient	(25-1200℃) ×10-⁶℃-¹	≤4.5±0.5
Vickers-Härte	GPa	≥20

Hinweis: Dieser Wert dient nur als Referenz und kann von Charge zu Charge leicht variieren.

Anwendungen

Astronomie und Weltraumoptik
Optische SiC-Spiegel haben einen extrem niedrigen WAK und eine hohe thermische Stabilität und verformen sich bei Temperaturschwankungen fast nicht. Typische Anwendungen sind die Herschel-Weltraumteleskopdie nicht aus Glas, sondern aus gesintertem Siliziumkarbid besteht.

Hochgeschwindigkeits-Laserscanner und Verarbeitungssystem
Hochgeschwindigkeits-Laserscan-Systeme Spiegel aus Siliziumkarbid zu verwenden, um Glas- und Siliziumspiegel zu ersetzen, was offensichtliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Materialien hat. Dank der geringen Dichte und der hohen spezifischen Steifigkeit lassen sich mit SiC trägheitsarme und reaktionsschnelle Reflektoren herstellen

Forschungseinrichtungen
SiC als mehrschichtiges Reflektorsubstrat (ultraglatte Oberfläche erforderlich) in EUV-Lithographieanlagen (ASML) kann die thermische Drift während der Lithographie wirksam reduzieren und die Genauigkeit der Überlagerung verbessern

Über die Produktherstellung

Jundro ist ein Hersteller von hochwertiger technischer Keramikbearbeitung, der sich darauf spezialisiert hat, durch den Einsatz von technischem Fachwissen und fortschrittlicher Ausrüstung hervorragende Dienstleistungen anzubieten. Wir bieten kundenspezifische Bearbeitung verschiedener hochpräziser Keramikteile, einschließlich unregelmäßiger Formen, runder Formen und gekrümmter Oberflächen, mit der Möglichkeit der 5-Achsen-Präzisionsbearbeitung.

Unregelmäßige Strukturteile: Bearbeitungsgenauigkeit von 0,01 mm
Rohre und Stäbe: Zylindrizität von 0,001 mm, Maßhaltigkeit von 0,001 mm
Flache Oberflächen: Ebenheitsgenauigkeit von Strukturteilen bis zu 0,001 mm, optische Produkte mit einer Ebenheitsgenauigkeit von bis zu 1/20λ
Mikroloch-Strukturen: Mindestdurchmesser von 0,1 mm, Genauigkeit von 0,01 mm
Rauhigkeit: Strukturelle Teile mit Ra0.01um, optische Produkte mit Ra0.002um

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